Wafer transfer apparatus

摘要

웨이퍼 이송 장치가 개시된다. 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 지지하는 지지부를 포함하되, 상기 지지부는 전면과 후면에 각각 적어도 하나의 흡입구를 포함한다.