| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Mikropumpe (10) mit einem Substrat (12) mit mindestens einer daran fest angeordneten Gegenelektrode (14), und mindestens einer zusammenwirkenden Elektrodenstruktur (18), welche jeweils mindestens einen fest angeordneten Verankerungsbereich (20) und mindestens einen angebundenen freitragenden Bereich (22) umfasst, wobei jeweils mindestens eine Spannung zwischen der mindestens einen Gegenelektrode (14) und dem mindestens einen freitragenden Bereich (22) der zusammenwirkenden Elektrodenstruktur (18) anlegbar ist, und wobei der jeweilige freitragenden Bereich (22) in seiner spannungslosen Ausgangsstellung von der zusammenwirkenden Gegenelektrode (14) weg gespreizt vorliegt und mittels der Spannung in Richtung auf die zusammenwirkende Gegenelektrode (14) so verstellbar ist, dass jeweils ein Zwischenvolumen (28) verkleinerbar ist und ein in dem jeweiligen Zwischenvolumen (28) vorliegendes Medium in eine Pumprichtung (30) drückbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Pumpen eines Mediums. |
