Turning parts stopper of wafer transfer robot

摘要

본 발명은 기판 반송 로봇의 선회부 스토퍼에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 구조를 간소화시키고 정확한 정지 신호를 도출할 수 있는 기판 반송 로봇의 선회부 스토퍼에 관한 것이다. 이를 위해, 기판 반송 로봇의 선회부를 정지시키기 위한 스토퍼에 있어서, 선회부 일측에 돌출되도록 형성되고 기계적인 정지 시점과 전기적인 정지 시점을 동시에 감지하기 위한 스토퍼부재; 상기 스토퍼부재와 마주보는 위치에 설치되는 베이스바디; 상기 스토퍼부재와 접촉하여 전기적인 정지 시점을 감지하여 선회부의 동작을 정지시키는 리밋스위치; 및 상기 스토퍼부재와 접촉하여 걸림됨으로써 선회부가 기계적으로 정지할 수 있도록 하는 걸림부재;를 포함하여 구성되는 기판 반송 로봇의 선회부 스토퍼를 제공한다.