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发明名称
APPARATUS FOR SUPPLYING GAS FOR VAPOR EPITAXY
摘要
申请公布号
JPH03112139(A)
申请公布日期
1991.05.13
申请号
JP19890251681
申请日期
1989.09.26
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MURAKAMI SATOSHI;MARUYAMA KENJI;SHINOHARA KOJI
分类号
H01L21/205;H01L21/365
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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