| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRECISION CUTTING BY RADICAL REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310477(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930099876 |
申请日期 |
1993.04.26 |
| 申请人 |
NIIGATA ENG CO LTD |
发明人 |
NAGAOKA HITOSHI;HAMADA SHUJI;NISHIMURA AKIRA |
| 分类号 |
B23H7/36;B23K10/00;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B23H7/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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