发明名称 Halbleiterbaustein und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE4203399(C2) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE19924203399 申请日期 1992.02.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOYODA JIDOSHOKKI SEISAKUSHO, KARIYA, AICHI, JP 发明人 YAMAMOTO, NORIYUKI, KARIYA, AICHI, JP;OTOBE, YURI, KARIYA, AICHI, JP;OKABE, TAKANORI, KARIYA, AICHI, JP;KATO, MINORU, KARIYA, AICHI, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/338;H01L23/485;H01L29/772;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/283;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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