| 主权项 |
1.一机械臂包含:一转动轴;一固定在该转动轴上呈关节接合的臂构件,且此臂构件具有折叠之膨胀/收缩机构;一支撑构件,藉由臂构件的末端可旋转地被撑着,该摺叠机构系连接于该轴及该支撑构件之间,藉以在该转动轴及该支撑轴间提供固定关系;一辅助支撑构件,藉由一固定在该支撑构件的支撑轴所支撑,用于与该支撑构件合作支撑一工作件,该辅助支撑构件随着该臂构件的摺叠膨胀/收缩而转动;及一凸轮机构,其提供一部分为该辅助支撑构件及该臂构件彼此结合之处,使得该辅助支撑构件随着该臂构件的摺叠膨胀/收缩而转动。2.如申请专利范围第1项之机械臂,其中该凸轮机构包含:一凸轮表面,于该臂构件上形成,且固定于其上,该臂构件绕该转动部位的中心转动轴;及一凸轮随动件表面,在该用于与该凸轮表面接触的该辅助支撑构件上形成,且该机械臂更包含一弹性构件连接于该辅助支撑构件及该支撑构件之间,用于将转动力授予该辅助支撑构件,且使该凸轮随动件表面推动该凸轮表面。3.如申请专利范围第1项之机械臂,其中该支撑构件包含一支撑表面,用于在单方向中支撑一工作件;及该辅助支撑构件包含一面对该支撑构件之该支撑表面的辅助支撑表面,用于与该支撑构件之该支撑表面两面夹持工作件。4.如申请专利范围第2项之机械臂,其中该支撑构件包含一支撑表面,用于在一方向支撑一工作件;及该辅助支撑构件包含一面对该支撑构件之该支撑表面的辅助支撑表面,用于与支撑构件之该支撑表面两面夹持工作件。5.如申请专利范围第3项之机械臂,其中该支撑构件具有一夹持表面,用于夹持该工作件;及该支撑表面及该辅助支撑表面经由夹持表面接触工作件的侧壁,以限制工作件的位置。6.如申请专利范围第4项之机械臂,其中该支撑构件具有一夹持表面,用于夹持该工作件,及该支撑表面及该辅助支撑表面经由夹持表面接触工作件的侧壁,以限制工作件的位置。7.如申请专利范围第1项之机械臂,更包含另一配置在该支撑构件上的辅助构件,该另一辅助构件可转动,且相对于一虚拟(virtual)面与该辅助构件对称,该虚拟面包含转动部位的中心转动轴,且通过该支撑表面的中心;及其中该凸轮机构更包含另一凸轮表面,用于驱动该另一辅助支撑构件,且该另一凸轮表面相对于该转动部位的中心转动轴与该凸轮表面对称。8.如申请专利范围第2项之机械臂,更包含另一配置在该支撑构件上的辅助构件,该另一辅助构件可转动,且相对于一虚拟(virtual)面与该辅助构件对称,该虚拟面包含转动部位的中心转动轴,且通过该支撑表面的中心;及其中该凸轮机构更包含另一凸轮表面,用于驱动该另一辅助支撑构件,该另一凸轮表面相对于该转动部位的中心转动轴与该凸轮表面对称。图式简单说明:第一图之方块图示本发明实施例的清洁系统。第二图为氩之相图。第三图为本发明实施例清洁系统的剖面图。第四图为第三图中清洁系统之清洁室之剖面图。第五图A及第五图B为第三图中清洁系统之流率控制机构的剖面图。第六图为实验所使用之流率控制机构的剖面图。第七图A为第三图所示清洁系统之缓冲室的平面图,且第七图B为沿着第七图A之单点链线B7-B7所示之缓冲室的剖面图。第八A至八图I用于在观念上说明缓冲室中晶圆位置交换的方法。第九图为第三图中清洁系统晶圆夹持器的平面图。第十图为第三图中清洁系统机械臂之臂头部的平面图。第十一图A为第十图所示臂机械的部份平面图,第十一图B为其部份剖面图。第十二图A为第三图之清洁系统之遮蔽板的平面图,且第十二图B为喷嘴头部,遮蔽板,及晶圆的剖面图。 |
