发明名称 IC测试方法及设备
摘要 二个接触头被用来在一IC装置测试部E和一接触臂操作台ST3之间递送IC装置,而且一缓冲台ST4被插置于该接触臂操作台ST3、一装载臂操作台ST1和一卸载臂操作台ST2之间并且是可沿X方向移动。缓冲台ST2上被装设有一装载缓冲运送器和一卸载缓冲运送器,前者从该装载臂操作台ST1转移未经测试的IC装置到该接触臂操作台ST3而后者从该接触臂操作台ST3转移经测试的IC装置到该卸载臂操作台ST3。
申请公布号 TW358163 申请公布日期 1999.05.11
申请号 TW086119523 申请日期 1997.12.22
申请人 阿杜凡泰斯特股份有限公司 发明人 古田胜信
分类号 G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种IC测试设备,其中一IC装置被递送到该测试装置而且在一IC装置测试部内受到测试,该测试装置包含:一有一装载臂以供递送一未经测试的IC装置的装载臂操作台;一有一卸载臂以供接受和递送一经测试的IC装置的卸载臂操作台;一接触臂操作台,其含有第一和第二接触头以供将一IC装置带进和带出该装置测试部和第一和第二接触头运送器装置以供控制该第一和第二接触头的移动;一装载缓冲运送器以供递送一未经测试的IC装置自该装载臂操作台到该接触臂操作台;一卸载缓冲运送器以供递送一经测试的IC装置自该接触臂操作台到该卸载臂操作台;一缓冲台,在其上分开设置有一Y方向装载缓冲运送器轨道用来控制该装载缓冲运送器以移动在该接触臂操作台和该装载臂操作台之间和一Y方向卸载缓冲运送器轨道用来控制该卸载缓冲运送器以移动在该接触臂操作台和该卸载臂操作台之间;一X方向缓冲台轨道用来控制该缓冲台在X方向移动;其中该缓冲台被设置在该装载臂操作台、该卸载臂操作台和该接触臂操作台之间。2.如申请专利范围第1项的设备,其中:第一和第二IC装置转移位置藉由相对于该接触臂操作台被定义而被固定,而且在X方向分隔开使得该缓冲台的至少一个部分总是保持毗连于该IC装置测试部;第一和第二装载位置和第一和第二卸载位置在该X方向分别地在该装载臂操作台和该卸载臂操作台上分开设置;而且其中该缓冲台有一第一停止位置在至少该第一IC装置转移位置和该第一装载位置的对面,一第二停止位置在至少该第一IC装置转移位置和该第一卸载位置的对面,和一第三停止位置在至少该第二IC装置转移位置和该第二卸载位置的对面。3.如申请专利范围第2项的设备,其中该装载缓冲运送器和该卸载缓冲运送器受到控制以同步地以相反方向分别地在该Y方向装载缓冲运送器轨道和该Y方向卸载缓冲运送器轨道上移动,而且其中第一和第二接触头受到控制以同步地以相反方向在该第一和第二接触头运送器装置上移动。4.如申请专利范围第1.2或3项的设备,其中控制该装载缓冲运送器的该Y方向装载缓冲运送器轨道和控制该卸载缓冲运送器的该Y方向卸载缓冲运送器轨道被设置成在该缓冲台上分开且彼此平行。5.如申请专利范围第1.2或3项的设备,其中控制该装载缓冲运送器的该Y方向装载缓冲运送器轨道和控制该卸载缓冲运送器的该Y方向卸载缓冲运送器轨道被设置成倾斜对称于Y方向使得当朝向该IC装置测试部时它们彼此靠近。6.如申请专利范围第1.2或3项的设备,其中该装载臂、该卸载臂、该第一接触头和该第二接触头皆受到改造以一次处理复数个IC装置。7.一种IC装置测试方法,其中一未经测试的IC装置被带进一IC装置测试部中而且一经测试的IC装置被带出该测试部,该方法包含下列阶段:(a)在一装载臂操作台上藉着一装载臂递送一未经测试的IC装置;(b)在一卸载臂操作台上藉着一卸载臂接受而且递送一经测试的IC装置;(c)藉着第一和第二接触头运送器装置控制第一和第二接触头以藉着该第一和第二接触头将IC装置带进和带出该IC装置测试部;(d)装载一未经测试的IC装置在一装载缓冲运送器上而且将它自该装载机臂操作台递送到一接触臂操作台;(e)装载一经测试的IC装置在一卸载缓冲运送器上而且将它自该接触臂操作台递送到该卸载机臂操作台;(f)以一装设在一缓冲台上的Y方向装载缓冲运送器轨道控制该装载缓冲运送器以在该接触臂操作台和该装载臂操作台之间移动,而且以一装设在该缓冲台上隔离着该Y方向装载缓冲运送器轨道的Y方向卸载缓冲运送器轨道控制该卸载缓冲运送器以在该接触臂操作台和该卸载臂操作台之间移动;和(g)以一X方向缓冲运送器轨道控制该缓冲台在X方向移动。8.如申请专利范围第7项的方法,其中:相对于该接触臂操作台固定的第一和第二IC装置转移位置在X方向分隔开使得该缓冲台的至少一个部分总是保持毗连于该IC装置测试部;第一和第二装载位置和第一和第二卸载位置在该X方向分别地在该装载臂操作台和该卸载臂操作台上分开设置;而且其中该缓冲台有一第一停止位置在至少该第一IC装置转移位置和该第一装载位置的对面,一第二停止位置在至少该第一IC装置转移位置和该第一卸载位置的对面,和一第三停止位置在至少该第二IC装置转移位置和该第二卸载位置的对面。9.如申请专利范围第8项的方法,其中该装载缓冲运送器和该卸载缓冲运送器受到该Y方向装载缓冲运送器轨道和该Y方向卸载缓冲运送器轨道控制以同步地以相反方向移动,而且其中第一和第二接触头受到控制以同步地以相反方向在该第一和第二接触头运送器装置上移动。10.如申请专利范围第9项的方法,其中该阶段(f)是控制该装载缓冲运送器和该卸载缓冲运送器以沿着在该缓冲台上但是彼此平行的该Y方向装载缓冲运送器轨道和该Y方向卸载缓冲运送器轨道以相反方向移动的阶段。11.如申请专利范围第7.8或9项的方法,其中该阶段(f)是控制该装载缓冲运送器和该卸载缓冲运送器以沿着倾斜对称于Y方向在该缓冲台上的该Y方向装载缓冲运送器轨道和该Y方向卸载缓冲运送器轨道以相反方向移动使得它们在该IC装置测试部之侧彼此靠近的阶段。图式简单说明:第一图是一说明传统IC测试设备的概念平面图;第二图是其侧视图;第三图是说明另一先前技艺实施例的图示;第四图是说明另一先前技艺实施例的图示;第五图是说明本发明的第一具体实施例的图示;第六图A是描述第五图具体实施例之一IC装置运送路径的图示;第六图B是描述第六图A中IC装置运送路线的图示;第七图是说明一装载缓冲运送器、一卸载缓冲运送器和相对于彼此的接触头的位置的图示;第八图A是说明接触头相对于彼此的运动的图示;第八图B是说明接触头相对于彼此的运动的另一图示;第九图A是说明于一第一状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第九图B是说明于一第二状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第九图C是说明于一第三状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第九图D是说明于一第四状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图A是说明本发明第二具体实施例里于一第一状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图B是说明于一第二状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图C是说明于一第三状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图D是说明于一第四状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图E是说明于一第五状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图F是说明于一第六状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图G是说明于一第七状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图H是说明于一第八状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十图I是说明于一第九状态中装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十一图是比较说明第一具体实施例和第三具体实施例中缓冲台、装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十二图是说明第三具体实施例里缓冲台、装载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图示;第十三图是举例说明第十二图的修改形式的示意图。
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