发明名称 光电转换器及其制造方法
摘要 此光电转换器具有接收或发射光束之半导体组件(6),此半导体组件固定在底板(1)上。距离保持架(7)配置在底板上且承载一透镜系统(8)。底板,距离保持架和透镜系统由热膨胀系数大约相同之材料构成,例如,由矽及玻璃构成。许多此种配置可制作成一单元,以后可再将其分离。
申请公布号 TW366599 申请公布日期 1999.08.11
申请号 TW085100760 申请日期 1996.01.23
申请人 西门斯股份有限公司 发明人 吴尔夫敢格葛雷曼恩;乔治玻格那;渥那史巴斯;雷尔夫戴特里契
分类号 H01L31/04 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种光电转换器,其具有一接收或发射光束之半导体组件,具有一底板,半导体组件固定在底板上,且具有一和底板相连接之距离保持架以用于在光学上对准半导体组件之透镜系统,其特征为,距离保持架(7)固定在底板(1)上;透镜系统(8)放置在距离保持架(7)上且使用适当之材料和距离保持架(7)相连接;底板(1),距离保持架(7),透镜系统(8)由热膨胀系数至少很相近之材料构成;底板(1)及距离保持架(7),透镜系统(8)和半导体组件(6)系装设在外罩(14,15)中。2.如申请专利范围第1项之光电转换器,其中底板(1)和透镜系统(8)由矽构成,距离保持架(7)由玻璃构成。3.如申请专利范围第1项之光电转换器,其中底板(1)由玻璃构成,透镜系统(8)和距离保持架(7)由矽构成。4.如申请专利范围第1至第3项中任一项之光电转换器,其中底板(1)设有一金属件(5),半导体组件(6)固定在金属件(5)上。5.如申请专利范围第1,2或3项之光电转换器,其中由玻璃构成之部份藉阳极性之底部和由矽构成之部份分别互相连接。6.如申请专利范围第1,2或3项之光电转换器,其中每一由玻璃或矽构成之部份互相焊接或粘合。7.如申请专利范围第5项之光电转换器,其中每一由玻璃或矽构成之部份互相焊接或粘合。8.如申请专利范围第1项之光电转换器,其中半导体组件(6)放置在底板(1)之凹面(2)内。9.如申请专利范围第1,2或3项之光电转换器,其中底板(1)由矽构成且其在远离半导体组件(6)之面上和玻璃板(10)相连接。10.如申请专利范围第4项之光电转换器,其中底板(1)由矽构成且其在远离半导体组件(6)之面上和玻璃板(10)相连接。11.一种光电转换器之制造方法,其半导体组件(6)固定在底板(1)上,距离保持架(7)亦固定在底板(1)上,透镜系统(8)放置在距离保持架(7)上,距离保持架(7)和透镜系统(8)由热膨胀系数至少很相近之材料构成,其特征为:a)在底板(1)内,容纳半导体组件(6)之凹面(2)的产生方式应至少在一面上使每一凹面保留一平台(3),b)板(17)在底板(1)之范围内放置在平台上,且以适当材料和平台(3)相连接,c)板(17)在平台(3)间被去除,使产生和底板(1)相连接之距离保持架(7),d)依据前述之屏面(Raster),半导体组件(6)放入凹面(2)内且和底板(1)连接,e)另一板(18)放置在承载体上,板(18)具有和半导体组件数目一样多之透镜系统(8),此透镜系统(18)依据同一屏面(Raster)配置在另一板(18)上,f)另一板(18)相对于承载体之调整方式应使每一透镜系统对准一个半导体组件,g)另一板(18)固定于承载体上,h)由底板,半导体组件,距离保持架和另一板所构成之此种连接可经由第一平行截面(13)和与其垂直之第二截面而被分离以便产生单元(11),每一单元(11)具有底板(1),半导体组件(6),距离保持架(7)和透镜系统(8)。12.如申请专利范围第11项之制造方法,其中每一单元(11)装入一不透气之外罩(14,15)中。图式简单说明:第一图为第一实施例之切面图。第二图为第二实施例之切面图。第三图和第四图为制造光电转换器之独特方式。第五图为内部放置转换器之外罩。
地址 德国