发明名称 СПОСІБ АЗОТУВАННЯ В ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ ОБЕРНЕНОЇ ПОЛЯРНОСТІ З ПЕРІОДИЧНОЮ ОЧИСТКОЮ ПОВЕРХНІ
摘要 Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні, при якому процес проходить по схемі деталь-анод, корпус камери-катод при незмінних параметрах електричного розряду між електродами. В ході процесу з періодом не менше тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища розрядна камера автоматично переключається на схему деталь-катод, корпус камери-анод. На електроди камери подається короткочасний імпульс напруги порядку 1200 вольт, тривалість якого менша тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища.
申请公布号 UA112613(U) 申请公布日期 2016.12.26
申请号 UA20160006139U 申请日期 2016.06.06
申请人 发明人
分类号 C23C8/36;C23C8/48 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
地址