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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5397774(A)
申请公布日期
1978.08.26
申请号
JP19770012151
申请日期
1977.02.08
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
KINOSHITA HIROSHI;TAKEUCHI HIROSHI
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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