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发明名称 VORRICHTUNG FUER VAKUUMVERDAMPFUNG.
摘要
申请公布号 DE3786237(T2) 申请公布日期 1993.09.23
申请号 DE19873786237T 申请日期 1987.12.10
申请人 FUJI SEIKI INC., YOKOHAMA, KANAGAWA, JP 发明人 NOMA, HIROSHI, C/O FUJI SEIKI INC., YAIZU-SHI, SHIZUOKA, JP;FUJIYASU, HIROSHI, SHIZUOKA, JP
分类号 C23C14/56;C30B23/06;(IPC1-7):C30B23/06;H01L21/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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