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发明名称 METHOD OF INSPECTING AN ELECTRONIC STATE OF A SURFACE OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND INSPECTING APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR940010642(B1) 申请公布日期 1994.10.24
申请号 KR19910004722 申请日期 1991.03.25
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 USAMI, AKIRA;MATSUKI, KAZUNORI;TAKEUCHI, TSUTOFU
分类号 H01L21/66;G01R31/308;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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