工作物件承载器及其制造方法

摘要

一种承载工作物件之承载器，其系可允许将该工作物件滑靠于一研磨垫，而该研磨垫则系被设置在该承载器相对侧所设之研磨板上者。该承载器包括一具有可透气部之板片及一具有低透气性且被设置在该可透气部外周缘之密封部，俾藉着将空气朝向该可透气部之第一表面吸附，以使该工作物件可以被固定并吸附在该可透气部所设第一表面相反侧之第二表面处。该承载器进一步包括一设置在该板片外周缘上之承载环，以防止工作物件之外缘因为研磨作业而受到偏拉；及在该板片及该承载环间设置－背托环，以使该承载环与该研磨垫可保持压力接触。因为该工作物件系可以利用简单之作业，而被固定吸附在板片上，或由该板片上取下来，所以工作物件承载在该板片上所需之时间于是缩短了。再者，承载工作物件，进而因研磨液所造成其他机器及设备之损坏也减少了，同时机器与设备之保养，也更为容易。再者，受研磨工作物件之平整度，也得到改善。

主权项

1. 一种工作物件承载器,其系可令工作物件滑靠于该承载器反向所设研磨板之研磨垫上,该承载器包括:一板片,该板片包含一可透气部,当由该处将空气朝向第一表面吸入时,该工作物件乃可被固定且吸附在该第一表面相反侧之第二表面上;及一密封部,该密封部除了具有较低之透气性外,其并系被设置在该可透气部之外周缘处;一承载环,该承载环系被设置在该板片之外周缘处,俾用以防止该工作物件之外缘因研磨作业而形成偏拉现象;及一背托环,该背托环系设置在该板片与该承载环间,俾用以使该承载环与该研磨垫得以保持压力接触。2.如申请专利范围第1项所述之承载器,其中该密封部系置有防止研磨液渗入该外周缘部之措施,同时该第一表之一部份系并未与该工作物件接触者。3. 如申请专利范围第1项所述之承载器,其中该承载环系采用抗磨擦之合成树脂所制成,而且该承载环之表面系经过处理,以保持其平滑。4. 如申请专利范围第1项所述之承载器,其中该密封部系具有一突出部,而且该承载环及该背托环系被设置在该突出部上。5. 如申请专利范围第1项所述之承载器,其中该背托环系采用一种在受到大约50至1,000克/平方公分压力时,系可在厚度方向形成大约0.1%至20%变形比率之材料所制成者。6. 如申请专利范围第1项所述之承载器,其中进一步包含一设置在该承载环及该背托环间之刚性插入环,俾与该研磨垫接触之承载环表面,得以被固定在与该研磨垫接触之工作物件表面之等高处。7. 如申请专利范围第1项所述之承载器,其中该板片系利用无机黏着剂黏合陶磁颗粒而成之陶磁孔隙材料所制成者。8. 如申请专利范围第7项所述之承载器,其中该陶磁颗粒之直径系为0.1厘米,而该无机黏着剂则含有矽。9. 一种用以制造工作物件承载器之方法,其系可令工作物件滑靠于该承载器反向所设研磨板之研磨垫上者,该方包括下列之步骤:将树脂射入可透气板之外周缘部,俾形成一具有较该板片其他部位更具低透气性之密封部;切除该密封部之一部份,以形成一突出部;及将一弹性可变形之背托环及一承载环设置在该突出部上。图示简单说明:第一图:系本发明一范例所示承载器之部份剖视图。第二图:系第一图所示承载器与研磨板一起使用时之部份剖视图。第三图:系本发明一范例所示承载器使用承载板之平面图。第四A图:系第三图所示承载板沿着A-A'截线之剖视图。及