发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明系关于一种半导体装置及其制造方法;本发明系提供一种可以简化电容器用接触孔之形成作业,同时,能够减低位元配线容量的半导体装置。在形成有位元线用接触孔15a之氮化矽膜8及层间绝缘膜11,则形成有第1电容器用接触孔12。然后,在该第1电容器用接触孔12内,埋入有其上面之平面面积比起底面之平面面积还来得更大之插销电极13。形成电容器下部电极24a,而连接至插销电极13之上面,同时,藉由侧壁氧化膜2Oa及TEOS氧化膜17a,以覆盖住位元线l6a之侧面及上面。
申请公布号 TW346680 申请公布日期 1998.12.01
申请号 TW086112729 申请日期 1997.09.04
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 新川田裕树
分类号 H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1.一种半导体装置,系具备有:该相隔着一间隔而形成在半导体区域之主表面上,而用以夹住通道区域之呈1对之第1和第2源极/汲极区域;及,该形成在前述通道区域上之闸极电极;及,由形成在前述闸极电极上之绝缘膜所组成之第1蚀刻阻件层;及,该形成在前述之第1蚀刻组件层上之第1层间绝缘膜;及,形成在该位处于前述之第1层间绝缘膜和前述之第1蚀刻阻件层之前述之第1源极/汲极区域上之区域的位元线用开口;及,形成在该位处于前述之第1层间绝缘膜和前述之第1蚀刻阻件层之前述之第2源极/汲极区域上之区域的第1电容器用开口;及,藉由前述之位元线用开口,而连接至前述之第1源极/汲极区域的位元线;及,藉由前述之第1电容器用开口,而连接至前述之第2源极/汲极区域,同时,可以填充住前述之第1电容器用开口,而且其上面之平面面积比起底面之平面面积还来得更大之所形成之插销电极;及,呈电气地连接至前述之插销电极之上面,并且藉由第1绝缘膜,而覆盖住前述之位元线之上面和侧面之所形成之电容器下部电极。2.一种半导体装置,系具备有:该相隔着一间隔而形成在半导体区域之主表面上,而用以夹住通道区域之呈1对之第1和第2源极/汲极区域;及,该形成在前述之通道区域上之闸极电极;及,由形成在前述之闸极电极上之绝缘膜所组成之第1蚀刻阻件层;及,该形成在前述之第1蚀刻阻件层上之第1层间绝缘膜;及,形成在该位处于前述之第1层间绝缘膜和前述之第1蚀刻组件层之前述之第1源极/汲极区域上之区域的位元线用开口;及,形成在该位处于前述之第1层间绝缘膜和前述之第1蚀刻组件层之前述之第2源极/汲极区域上
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