发明名称 HALBLEITERANORDNUNG MIT SELBSTJUSTIERTEN KONTAKTEN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 AT183335(T) 申请公布日期 1999.08.15
申请号 AT19950107911T 申请日期 1995.05.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MELZNER, HANNO
分类号 H01L23/522;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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