| 发明名称 |
METHOD FOR IMPROVING SHOULDER MARGIN OF SELF-ALIGNED CONTACT USING DWD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20010113133(A) |
申请公布日期 |
2001.12.28 |
| 申请号 |
KR20000033266 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, YUN YEONG |
| 分类号 |
H01L21/8239;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/8239 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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