发明名称 显示装置及其制造方法
摘要 为了提供一种藉由使用一塑胶基板来制造一高性能之显示装置,一剥离层被形成于一元件形成基板上,而且一半导体元件与一发光元件被进一步形成于其上。接着,一固定基板(130)藉由使用一第一胶黏剂(129)而被黏合于发光元件上。在此状态之整个基板被曝露于一包含卤素氟化物的气体中。藉以移除该剥离层并且分离该元件形成基板。之后,一包括有塑胶基板之黏合基板(132)被黏合以取代该分离之元件形成基板。
申请公布号 TW490717 申请公布日期 2002.06.11
申请号 TW090100971 申请日期 2001.01.16
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 发明人 山崎舜平;中 节男
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种制造显示装置的方法,包括以下步骤:于一元件形成基板上形成一剥离层;于该剥离层上形成一绝缘层;于该绝缘层上形成一发光元件;藉由使用一第一胶黏剂而于该发光元件上黏合一固定基板;曝露该整个基板至一包含卤素氟化物之气体于黏合该固定基板之后,以藉此移除该剥离层;以及藉由使用一第二胶黏剂而黏合一黏合基板至该绝缘层。2.如申请专利范围第1项之方法,其中聚醯亚胺(polyimide)、丙烯酸(acrylic)、或环氧树脂可被使用来作为该第一胶黏剂。3.如申请专利范围第1项之方法,其中被使用来形成该黏合基板之材料系相同于形成该固定基板所使用者。4.一种制造显示装置的方法,包括以下步骤:于一元件形成基板上形成一剥离层;于该剥离层上形成一绝缘层;于该绝缘层上形成一半导体元件;形成一发光元件,其系与该半导体元件互相电连接;藉由使用一第一胶黏剂而于该发光元件上黏合一固定基板;曝露该整个基板至一包含卤素氟化物之气体于黏合该固定基板之后,以藉此移除该剥离层;以及藉由使用一第二胶黏剂而黏合一黏合基板至该绝缘层。5.如申请专利范围第4项之方法,其中聚醯亚胺(polyimide)、丙烯酸(acrylic)、或环氧树脂可被使用来作为该第一胶黏剂。6.如申请专利范围第4项之方法,其中被使用来形成该黏合基板之材料系相同于形成该固定基板所使用者。7.一种制造显示装置的方法,包括以下步骤:于一元件形成基板上形成一剥离层;于该剥离层上形成一绝缘层;于该绝缘层上形成主动层、一闸极绝缘层、与一闸极电极;在该闸极绝缘层、该绝缘层、与该剥离层中形成第一开口;形成一第一层间绝缘层,以覆盖该闸极电极;于该第一层间绝缘层上形成连线与一像素电极;于该第一层间绝缘层、该闸极绝缘层、与该绝缘层中形成第二开口,以藉此曝露该剥离层;曝露该整个基板至一包含有卤素氟化物之气体中,以藉此移除该剥离层;形成一第二层间绝缘层,以覆盖该连线与该像素电极;蚀刻该第二层间绝缘层,以藉此曝露该像素电极;于该像素电极上形成一发光层与一阴极;藉由使用一第一胶黏剂而黏合一固定基板于该阴极上;在黏合该固定基板之后,分离该元件形成基板与该第一层间绝缘层;以及藉由使用一第二胶黏剂而黏合一黏合基板至该绝缘层。8.如申请专利范围第7项之方法,其中聚醯亚胺(polyimide)、丙烯酸(acrylic)、或环树脂可被使用来作为该第一胶黏剂。9.如申请专利范围第7项之方法,其中被使用来形成该黏合基板之材料系相同于形成该固定基板所使用者。10.一种制造显示装置的方法,包括以下步骤:于一元件形成基板上形成一剥离层;于该剥离层上形成一绝缘层;于该绝缘层上形成一第一条状电极;藉由一密封构件而将具有形成于其上之一第二条状电极的固定基板黏合至该元件形成基板;发射一液晶于该第一条状电极与该第二条状电极之间;曝露该整个基板至一包含有卤素氟化物之气体中,以藉此移除该剥离层;以及藉使用一第二胶黏剂而黏合一黏合基板至该绝缘层。11.如申请专利范围第10项之方法,其中聚醯亚胺(polyimide)、丙烯酸(acrylic)、或环氧树脂可被使用来作为该第一胶黏剂。12.如申请专利范围第10项之方法,其中被使用来形成该黏合基板之材料系相同于形成该固定基板所使用者。13.一种制造显示装置的方法,包括以下步骤:于一元件形成基板上形成一剥离层;于该剥离层上形成一绝缘层;于该绝缘层上形成主动层、一闸极绝缘层、与一闸极电极;形成一第一层间绝缘层,以覆盖该闸极电极;于该第一层间绝缘层上形成连线与一像素电极;藉由一密封构件而将提供有相对电极的固定基板黏合至该元件形成基板;发射一液晶于该像素电极与该相对电极之间;曝露该整个基板至一包含有卤素氟化物之气体中,以藉此移除该剥离层;以及藉由使用一第二胶黏剂而黏合一黏合基板至该绝缘层。14.如申请专利范围第13项之方法,其中聚醯亚胺(polyimide)、丙烯酸(acrylic)、或环氧树脂可被使用来作为该第一胶黏剂。15.如申请专利范围第13项之方法,其中被使用来形成该黏合基板之材料系相同于形成该固定基板所使用者。图式简单说明:图1A至1E系为显示电激萤光显示装置制程之示意图;图2A至2C系为显示电激萤光显示装置制程之示意图;图3A系为显示电激萤光显示装置结构之上视图;以及图3B系为显示其电路组成之示意图;图4A至4E系为显示电激萤光显示装置制程之示意图;图5A至5C系为显示电激萤光显示装置制程之示意图;图6系为显示电激萤光显示装置结构之上视图;图7A至7C系为显示液晶显示装置制程之示意图;图8A至8C系为显示电激萤光显示装置制程之示意图;以及图9A至9C系为显示电激萤光显示装置制程之示意图。
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