发明名称 影像处理方法、影像处理装置、以及打线装置
摘要 【课题】即使检测对象系以包含旋转方向位移的姿势来配置,亦不必进行旋转方向之图案匹配,便可进行高精度之位置检测。有效率地进行遮罩图案的形成。【解决手段】进行检测对象影像与以标线片标记42所定义之样板影像间的影像减法运算,利用其结果(影线所示的领域)形成并记忆遮罩图案影像。在运转时问,将对应遮罩图案影像的领域从图案匹配的对象去除。
申请公布号 TWI237683 申请公布日期 2005.08.11
申请号 TW091113734 申请日期 2002.06.24
申请人 新川股份有限公司 发明人 菅原 健二
分类号 G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人 林镒珠 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种影像处理方法,其特征在于包含:差値算出步骤,系将事先输入之基准影像旋转而得之旋转影像与前述基准影像之差値,针对前述基准影像内之复数基准点分别算出;遮罩图案形成步骤,系依据前述复数点之前述差値来形成遮罩图案;及位置检测步骤,系使用拍摄有检测对象之检测对象影像、前述基准影像及前述遮罩图案,藉由图案匹配来检测前述检测对象之位置。2.如申请专利范围第1项之影像处理方法,其中,前述差値算出步骤系执行于,由前述旋转影像与前述基准影像之一致量成为最大之两者的相对位置起,在既定范围内之前述旋转影像与前述基准影像的相对位置。3.如申请专利范围第1项之影像处理方法,其中,前述差値算出步骤,系针对彼此相异之复数旋转角度来执行;前述遮罩图案形成步骤,系包含用以形成最大値影像之最大値影像形成步骤,该最大値影像,系对前述复数旋转角度所算出之前述基准点之前述差値的绝对値中,将从最大値起在既定范围内之差値的绝对値当成针对该基准点之评价値来含有。4.如申请专利范围第2项之影像处理方法,其中,前述差値算出步骤,系针对彼此相异之复数旋转角度来执行;前述遮罩图案形成步骤,系包含用以形成最大値影像之最大値影像形成步骤,该最大値影像,系对前述复数旋转角度所算出之前述基准点之前述差値的绝对値中,将从最大値起在既定范围内之差値的绝对値当成针对该基准点之评价値来含有。5.如申请专利范围第3项之影像处理方法,其中,前述遮罩图案形成步骤进一步包含:比较步骤,将前述最大値影像中之各评价値与既定之阈値作比较;及选择步骤,选择高于前述阈値之基准点。6.如申请专利范围第4项之影像处理方法,其中,前述遮罩图案形成步骤进一步包含:比较步骤,将前述最大値影像中之各评价値与既定之阈値作比较;及选择步骤,选择高于前述阈値之基准点。7.如申请专利范围第1~6项中任一项之影像处理方法,其中,前述位置检测步骤包含去除处理步骤,在前述检测对象影像中,将对应前述遮罩图案之领域从前述图案匹配的对象中去除。8.一种影像处理装置,其特征在于包含:差値算出机构,系将事先输入之基准影像旋转而得之旋转影像与前述基准影像之差値,针对前述基准影像内之复数基准点分别算出;遮罩图案形成机构,系依据前述复数点之差値来形成遮罩图案;及位置检测机构,系使用拍摄有检测对象之检测对象影像、前述基准影像及前述遮罩图案,藉由图案匹配来检测前述检测对象之位置。9.一种打线装置,系包含申请专利范围第8项之影像处理装置而构成。图式简单说明:【图1】表示本发明之实施形态之打线装置之概略构成的方块图。【图2】表示新半导体装置之登录处理之一例的流程图。
地址 日本