タッチセンサ装置

摘要

本発明は、光学的に透明で電気的に絶縁性の基板、前記基板上に配列された少なくとも１つの光学的に透明で導電性のセンサ要素、及び光学的に透明なセンサ要素を電気的に接触させるための少なくとも１つの接触構造を有するタッチセンサ装置に関する。前記接触構造は、組成ＭｏａＸｂＯｃＮｄ（ここでｂ≧０であり、Ｘは、ニオブ、タンタル、バナジウム、タングステン、クロム、レニウム、ハフニウム、チタン及びジルコニウムからなる元素群から選ばれる元素又は複数の元素の組合せである。）を有する金属オキシニトリドからなる少なくとも１つの層を有する。【選択図】図１ａ