发明名称 DETECTOR FOR FOREIGN PARTICLE IN ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPS5991361(A) 申请公布日期 1984.05.26
申请号 JP19820201635 申请日期 1982.11.17
申请人 TOSHIBA KK 发明人 HONMA MITSUO
分类号 G01N29/12;G01N29/00 主分类号 G01N29/12
代理机构 代理人
主权项
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