| 发明名称 |
SOURCE D'IONS A QUATRE ELECTRODES |
| 摘要 |
<P>Source d'ions à arc sous vide comportant une anode 2 ou 3 et une cathode 1 disposées en vis-à-vis, portées à des potentiels différents et dont le plasma 7 est émis perpendiculairement à la surface de la cathode. La projection de ce plasma est obtenue au moyen de deux gâchettes autonomes 4 et 5 convenablement polarisées.</P><P>Application à l'implantation d'ions métalliques.</P>
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| 申请公布号 |
FR2616587(A1) |
申请公布日期 |
1988.12.16 |
| 申请号 |
FR19870008196 |
申请日期 |
1987.06.12 |
| 申请人 |
ETUDES REALISATIONS NUCLEAIRES |
发明人 |
HENRI BERNARDET |
| 分类号 |
H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08;H01J37/317;H05H1/48 |
主分类号 |
H01J27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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