发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0290671(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880245047 申请日期 1988.09.28
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIMOTO SHOZO
分类号 H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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