发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04335538(A) 申请公布日期 1992.11.24
申请号 JP19910105878 申请日期 1991.05.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUSUNOKI SHIGERU
分类号 H01L29/68;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/10;H01L29/772;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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