| 发明名称 |
DETECTING DEVICE FOR POLISHING END POINT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06315850(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19930106566 |
申请日期 |
1993.05.07 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
INOKAWA HIROSHI |
| 分类号 |
B23Q15/013;B24B49/16;H01L21/304;(IPC1-7):B23Q15/013 |
主分类号 |
B23Q15/013 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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