| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING WASHING RESIDUE ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07294513(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940083131 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
OGURA MASAYOSHI;KOYAMA YOSHIHIDE |
| 分类号 |
G01N33/38;B08B3/08;H05K3/26;(IPC1-7):G01N33/38 |
主分类号 |
G01N33/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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