| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FINE TIP AND PROBE WITH SHIELDED ELECTRODE OR MANUFACTURE OF FIELD EMISSION TYPE ELECTRON EMISSION ELEMENT AND ELECTRONIC DRAWING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10332714(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19970155837 |
申请日期 |
1997.05.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIMADA YASUHIRO;KURODA AKIRA |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/18;G01Q60/16;G01Q70/16;H01J9/02;H01J37/073;H01J37/305;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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