| 发明名称 |
THREE-STAGE ETCHING FOR CONTACT WINDOW |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11340161(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980177948 |
申请日期 |
1998.05.22 |
| 申请人 |
HUALON MICROELECTRONICS CORP |
发明人 |
O HO;CHIN SEIBAI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306;H01L21/824 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
