| 主权项 |
1.一种测试修复系统,包括一构件测试设备,以测试即将进行处理的复数个构件,系各别地固定于一构件移动夹具之复数个构件固定位置,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的,与一构件修复设备,以对即将进行处理的该复数个构件之中,经该构件测试设备测定为有缺陷者进行修复,且更包括一资料处理设备,以整合并控制该构件测试设备与该构件修复设备,其中该构件测试设备包含:一测试支持装置,以可移除自如的方式支持该构件移动夹具;一品质测定装置,以测试即将进行处理的该复数个构件,系固定于该构件移动夹具之上,且由该测试支持装置支持该构件移动夹具,以测定该复数个构件为良好的或有缺陷的;一处理储存装置,以储存一处理状态资料,其中包括各个位置识别资料,以提供每个该复数个构件之固定位置,而相对应于该复数个构件的目前状态资料之一,以表示即将进行处理的该复数个构件之目前状态资料之一,以供每个该构件移动夹具,系经该品质测定装置所测试者;一资料更新装置,以更新该构件之目前状态资料,系在该处理状态资料之中,且储存于该处理储存装置之内,而系根据该品质测定装置的一测定结果;以及一状态传送装置,以将该处理状态资料传送到该资料处理设备,且该处理状态资料系被该资料更新装置所更新者,而该资料处理设备包含:一状态接收装置,以从该构件测试设备接收该处理状态资料;一资料管理装置,以管理该状态接收装置所接收的该处理状态资料;以及一修复传送装置,以将一修复指令资料传送到该构件修复设备,且系根据经该资料管理装置所管理的该处理状态资料,而该构件修复设备包含:一修复接收装置,以从该资料处理设备接收该修复指令资料;一修复支持装置,以可移除自如的方式支持该构件移动夹具;一修复执行装置,以修复即将进行处理的该构件,系固定于该构件移动夹具之上,且由该修复支持装置支持该构件移动夹具;以及一修复控制装置,以可选择地控制该修复执行装置之一修复运作,系针对该构件移动夹具的每个该构件之固定位置,且系根据该修复接收装置所接收的该修复指令资料。2.如申请专利范围第1项之测试修复系统,其中该资料处理设备更包括:一固定管理装置,以管理固定状态资料,其中包括即将进行处理的该复数个构件之每个构件识别资料,系相对应于每个该构件移动夹具之该位置识别资料;一资料整合装置,以整合该固定状态资料与该处理状态资料,而建立一整合状态资料;以及一整合管理装置,以管理由该资料整合装置所建立的该整合状态资料。3.一种测试修复方法,其步骤包含:测试即将进行处理的复数个构件,系各别地固定于一构件移动夹具之复数个构件固定位置上,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的;储存处理状态资料,其中包括每个位置识别资料,以提供每个该复数个构件之固定位置,系相对应于复数个构件目前状态资料之一,以表示一目前状态,系为每个即将进行测试的该构件移动夹具之即将进行处理的该构件之该目前状态;更新该构件目前状态资料,系于储存的该处理状态资料之中,且系根据该测试之一测定结果;管理该更新的处理状态资料;以及选择地修复即将进行处理的该构件,系固定于该构件移动夹具之每个该构件固定位置,且系根据经管理的该处理状态资料。4.一种测试修复系统的测试修复方法,包括一构件测试设备,以测试即将进行处理的复数个构件,系各别地固定于一构件移动夹具之复数个构件固定位置,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的,与一构件修复设备,以对即将进行处理的该复数个构件中,经该构件测试设备测定为有缺陷者进行修复,其中该方法之步骤包含:将一资料处理设备连接到该构件测试设备,且连接到该构件修复设备;可移除自如地支持该构件移动夹具,测试即将进行处理的该复数个构件,系固定于一被支持的该构件移动夹具,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的,储存处理状态资料,其中包括每个位置识别资料,以提供该复数个构件之每个固定位置,系相对应于复数个构件目前状态资料之一,以表示一目前状态,系为每个即将进行测试的该构件移动夹具之即将进行处理的该构件之该目前状态,更新该构件目前状态资料,系在已储存的该处理状态资料之中,且系根据该测试之一测定结果,以及将已更新的该处理状态资料传送到该资料处理设备,系藉由该构件测试设备进行传送;管理该处理状态资料,系接收自该构件测试设备,且将一修复指令资料传送到该构件修复设备,系根据经管理的该处理状态资料,而系藉由该资料处理设备进行传送;以及可移除自如地支持该构件移动夹具,且可选择地修复即将进行处理的该构件,系固定于被支持的该构件移动夹具之每个该构件固定位置,且系根据接收自该资料处理设备的该修复指令资料,而系藉由该资料处理设备进行之。5.一种产品制造系统,包括如申请专利范围第1项之测试修复系统为其中之一部份,包含:一夹具移动装置,以依序移动该构件移动夹具;各式各样的制造处理设备,系配置于该夹具移动装置之一移动路径,以各别地对即将进行处理的该构件进行各式各样的制造步骤;以及该测试修复系统,包括该构件测试设备,系配置于该制造处理设备之特定的一个之后。6.一种产品制造系统,包括如申请专利范围第2项之测试修复系统为其中之一部份,包含:一夹具移动装置,以依序移动该构件移动夹具;各式各样的制造处理设备,系配置于该夹具移动装置之一移动路径,以各别地对即将进行处理的该构件进行各式各样的制造步骤;以及该测试修复系统,包括该构件测试设备,系配置于该制造处理设备之特定的一个之后。7.如申请专利范围第5项之产品制造系统,其中该测试修复系统之资料处理设备,更整合并控制该制造处理设备。8.如申请专利范围第6项之产品制造系统,其中该测试修复系统之资料处理设备,更整合并控制该制造处理设备。9.一种构件测试设备,以测试即将进行处理的复数个构件,系各别地固定于一构件移动夹具之复数个构件固定位置,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的,该构件测试设备包含:一测试支持装置,以可移除自如地支持该构件移动夹具;一品质测定装置,以测试即将进行处理的该复数个构件,系固定于该构件移动夹具之上,且由该测试支持装置支持该构件移动夹具,以测定该复数个构件为良好的或有缺陷的;一处理储存装置,以储存一处理状态资料,其中包括各个位置识别资料,以提供该复数个构件之每个固定位置,而相对应于复数个构件目前状态资料之一,以表示即将进行处理的该复数个构件之目前状态资料之一,且每个该构件移动夹具系经该品质测定装置所测试者;一资料更新装置,以更新该构件之目前状态资料,系在该处理状态资料之中,且储存于该处理储存装置之内,而系根据该品质测定装置的一测定结果;以及一状态传送装置,以将该处理状态资料传送到外界,且该处理状态资料系被该资料更新装置所更新者。10.一种构件测试方法,以测试即将进行处理的复数个构件,系各别地固定于一构件移动夹具之复数个构件固定位置,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的,该方法之步骤包含:可移除自如地支持该构件移动夹具;测试即将进行处理的该复数个构件,系各别地固定于被支持的该构件移动夹具,以测定每个该复数个构件为良好的或有缺陷的;储存一处理状态资料,其中包括各个位置识别资料,以提供该复数个构件之每个固定位置,而相对应于复数个构件目前状态资料之一,以表示一目前状态,系为每个即将进行测试的该构件移动夹具之即将进行处理的该构件之该目前状态;更新该构件目前状态资料,系在已储存的该处理状态资料之中,且系根据该测试之一测定结果;将已更新的该处理状态资料传送到外界。11.一种资料处理设备,以与如申请专利范围第9项之构件测试设备进行资料沟通,该资料处理设备包括:一状态接收装置,以从该构件测试设备接收该处理状态资料;一资料管理装置,以管理该状态接收装置所接收的该处理状态资料;以及一修复传送装置,以将一修复指令资料传送到外界,系根据资料管理装置所管理的该处理状态资料。12.如申请专利范围第11项之该资料处理设备,更包括:一固定管理装置,以管理一固定状态资料,其中包括一构件识别资料,以各别地提供每个即将进行处理的该构件,系相对应于每个该构件移动夹具之该位置识别资料;一资料整合装置,以整合该固定状态资料与该处理状态资料,以建立一整合状态资料;以及一整合管理装置,以管理该整合状态资料,系由该资料整合装置所建立者。13.一种资料处理方法,系在一资料处理设备中进行,以与如申请专利范围第9项之构件测试设备进行资料沟通,该方法之步骤包括:接收该处理状态资料,系来自该构件测试设备;管理所接收的该处理状态资料;以及将一修复指令资料传送到外界,系根据经管理的该处理状态资料。14.一种构件修复装置,以与如申请专利范围第11项之资料处理设备进行资料沟通,该构件修复装置包括:一修复接收装置,以从该资料处理设备接收该修复指令资料;一修复支持装置,以可移除自如的方式支持该构件移动夹具;一修复执行装置,以修复即将进行处理的该构件,系固定于该构件移动夹具之上,且由该修复支持装置支持该构件移动夹具;以及一修复控制装置,以可选择地控制该修复执行装置之一修复运作,系针对该构件移动夹具的每个该构件之固定位置,且系根据该修复接收装置所接收的该修复指令资料。15.一种构件修复装置,以与如申请专利范围第12项之资料处理设备进行资料沟通,该构件修复装置包括:一修复接收装置,以从该资料处理设备接收该修复指令资料;一修复支持装置,以可移除自如的方式支持该构件移动夹具;一修复执行装置,以修复即将进行处理的该构件,系固定于该构件移动夹具之上,且由该修复支持装置支持该构件移动夹具;以及一修复控制装置,以可选择地控制该修复执行装置之一修复运作,系针对该构件移动夹具的每个该构件之固定位置,且系根据该修复接收装置所接收的该修复指令资料。16.一种构件修复方法,系在一构件修复设备之中进行,以与如申请专利范围第11项之资料处理设备进行资料沟通,该方法之步骤包括:接收该修复指令资料,系来自该资料处理设备;可移除自如的方式支持该构件移动夹具;以及选择地修复即将进行处理的该构件,系固定于被支持的该构件移动夹具之每个该构件固定位置,且系根据所接收的该修复指令资料。17.一种构件修复方法,系在一构件修复设备之中进行,以与如申请专利范围第12项之资料处理设备进行资料沟通,该方法之步骤包括:接收该修复指令资料,系来自该资料处理设备;可移除自如的方式支持该构件移动夹具;以及选择地修复即将进行处理的该构件,系固定于被支持的该构件移动夹具之每个该构件固定位置,且系根据该接收的修复指令资料。18.一种资讯储存媒体,以储存一软体且可供一个人电脑读取之,该软体包括一程式而使该个人电脑执行步骤,包含:接收一处理状态资料,系来自外界,其中包括各个位置识别资料,以提供复数个构件之每个固定位置,而相对应于复数个构件目前状态资料之一,以表示即将进行处理的该复数个构件之目前状态资料之一;管理所接收的该处理状态资料;以及将一修复指令资料传送到外界,系根据经管理的该处理状态资料。19.如申请专利范围第18项之资讯储存媒体,其中该媒体更储存一程式,以使该个人电脑执行步骤,包括:管理一固定状态资料,其中包括即将进行处理的该复数个构件之每个构件识别资料,系相对应于每个该构件移动夹具之该位置识别资料;整合该固定状态资料与该处理状态资料,以建立一整合状态资料;以及管理已建立的该整合状态资料。图式简单说明:图1是一示意图,以显示一半导体装置制造系统的逻辑架构,而该半导体装置制造系统系为本发明的产品制造系统之一实施例;图2是一方块图,以显示该半导体装置制造系统的实体架构;图3是一透视图,以显示一矽晶片与一制造载具的外观,该矽晶片系供作为一即将进行处理的构件,而该制造载具系供作为一构件移动夹具;图4(a)至(c)是示意图,以显示一处理状态资料的资料结构;图5是一方块图,以显示一资料处理设备的实体架构;图6是一示意图,以显示一固定状态资料的资料结构;图7是一示意图,以显示一整合状态资料的资料结构;图8是一流程图,以显示一构件测试设备的处理运作;图9是一流程图,以显示该资料处理设备的处理运作;以及图10是一流程图,以显示一构件修复设备的处理运作。 |
