在180相区域周围形铬界线以增强透明电场相移位光罩之方法

摘要

一种在180相区域周围形成铬界线以增强透明电场相位移光罩之方法，该方法实施例系包指:界定180度相图案边缘，扩充该些边缘，以及藉由铬以合并该扩充部分。另一方法实施例系包括:特大化与缩小化180相资料，捡选不同的部分，以及藉由铬以合并该不同部分。该相光罩上之铬区域可藉由允许该光罩上之铬以完整地定义石英蚀刻，俾改善光罩之产生。