滑动式阳极磁控溅镀源

摘要

一磁控溅镀源包含多数电极及一切换电路。该切换电路依序连接多数电极之每一电极至一接地参考电位，使其为阳极，同时，连接其余之多数电极为阴极。一种操作该磁控溅镀源的方法包含步骤有：提供多数靶材配置；使得该多数靶材配置之每一者作动为一阴极；及依序使得每一阴极暂时地作为一阳极。