气体减量

摘要

本发明描述一种处理来自一制程工具之排出流体流的低成本装置。在一实施例中，该装置包含一减量设备12及一用于至少部分地抽空该减量设备12的液环泵14。在使用期间，减量设备12将排出流之一或多个组份(例如F2或PFC)转化成一或多种可溶于液体之化合物(例如HF)，其对环境危害较小。该液环泵14接收该排出流及液体，且抽出该液体及该排出流之可溶于液体之组份的溶液。因此，该液环泵14系如同一湿式洗涤器及一大气真空抽汲平台来运作。