发明名称 KLEINSTRECHENANLAGE
摘要
申请公布号 DE2412634(A1) 申请公布日期 1974.09.26
申请号 DE19742412634 申请日期 1974.03.15
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO 发明人 WATANABE, KAZUO, KOKUBUNJI;HAMAMOTO, NOBUO, HACHIOJI, TOKIO
分类号 G06F7/00;G06F9/22;G06F9/38;H01L21/60;(IPC1-7):G06F9/00 主分类号 G06F7/00
代理机构 代理人
主权项
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