| 发明名称 |
PATTERN GENERATOR |
| 摘要 |
PURPOSE:To reduce exposure time by making variable aperture parts plural and making possible free displacement of the center of the rectangular patterns of opening parts. |
| 申请公布号 |
JPS5376670(A) |
申请公布日期 |
1978.07.07 |
| 申请号 |
JP19760152404 |
申请日期 |
1976.12.17 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
SUGIYAMA HISASHI;IINO TERUO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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