多轴MEMS传感器模块

摘要

多轴MEMS传感器模块，本实用新型的传感器模块的MEMS裸芯片用软胶直接粘接在导热性能良好的安装座上，然后通过金属线将信号连接到PCB硬板上，MEMS裸芯片与PCB硬板之间没有硬接触，只有柔软的金属线连接，所以PCB硬板的应力不会传导到MEMS裸芯片上；安装有MEMS裸芯片的PCB硬板相互垂直地安装在金属外壳上，这样，既保证了各感应轴向间的对准精度，又隔离了来自金属外壳的应力，还提供了均匀的温度环境。

主权项

多轴MEMS传感器模块，由金属外壳和ASIC组件组成，其特征在于：所述的金属外壳呈立方体状，由底板、左侧板、后侧板、右侧板、前侧板和盖板围成，金属外壳的底板、左侧板、右侧板和前侧板上各有至少四个安装柱，在底板与后侧板的连接处有至少两个定位柱，定位柱上有定位槽，在右侧板上有联接口，每四个安装柱上粘贴一个安装座；所述的ASIC组件由PCB板组件和工装组成，所述的PCB板组件包括四至六块PCB硬板，相邻的PCB硬板间有PCB软板连接，在其中一块PCB硬板上制作有排针孔，在其中至少一块PCB硬板上制作有至少一个窗口和至少两个定位孔，在其中至少一块PCB硬板上贴装有电子元器件；所述的工装具有第一定位柱、第二定位柱和工装槽；PCB板组件安装到工装上，PCB板组件的窗口和定位孔分别对准工装的定位柱，PCB硬板上的电子元器件位于工装槽中，ASIC裸芯片贴装在PCB硬板上；ASIC组件的PCB硬板对准贴装在安装柱和定位槽上，安装座从PCB硬板的窗口中穿过，且与PCB硬板无接触，PCB软板弯曲固定在底板上，信号连接器固定在右侧板上，信号连接器的排针焊接在排针孔中；安装座上贴装MEMS裸芯片，MEMS裸芯片和ASIC裸芯片之间及ASIC裸芯片和PCB硬板之间由金属线电连接。