| 摘要 |
성막 롤러의 축방향에 대한 성막이 행해지는 범위에 있어서 기재가 권취되어 있지 않은 부분에 있어서 이상 방전의 발생을 방지하는 플라즈마 CVD 성막 장치를 제공한다. 플라즈마 CVD 성막 장치(10)는, 진공 챔버(1)와, 띠 형상의 기재가 당해 성막 롤러(2)의 외주면 중 주위 방향의 일부에 권취되는 금속제의 성막 롤러(2)와, 성막 롤러(2)의 내부에 배치되고, 성막 롤러(2)의 외주면 중 기재가 권취되는 부분의 외측에 자장을 생성하는 자장 생성부(3)와, 성막 롤러(2)에 접속되고, 자장의 영역 내에 플라즈마를 생성하기 위한 교류 전압을 당해 성막 롤러(2)에 인가하는 전원(4)과, 성막 롤러(2)의 외주면 중 기재(A)가 권취되는 부분(2a)에 대해 당해 성막 롤러(2)의 회전축을 사이에 두고 반대측에 위치하는 부분이며 당해 기재(A)에 접촉하고 있지 않은 부분(2b)을 덮는 커버(9)를 구비하고 있다. |
