MULTIPLE ELECTRODE PLASMA REACTOR POWER DISTRIBUTION SYSTEM

摘要

Un réacteur de plasma gazeux à électrode multiple est pourvu d'un circuit électrique qui permet une meilleure distribution de l'alimentation en énergie électrique et une meilleure uniformité du plasma sans avoir recours à des alimentations de puissance électrique parfaitement symétriques. L'énergie électrique haute fréquence RF provenant du générateur (102) est introduite dans un réseau d'assortiment (104) d'une manière normale mais, lors de l'excitation du réseau d'assortiment (104), l'énergie électrique est amenée par l'intermédiaire d'un transformateur d'attaque à différentiel (106). L'énergie provenant de la bobine de sortie (107) du transformateur est ensuite divisée et amenée par l'intermédiaire de circuits d'alimentation séparés (108 et 110) respectivement vers chacune des électrodes (112 et 114) respectivement disposées dans la chambre mise à la terre (118). Pour assurer une uniformité, les électrodes sont formées de préférence comme des organes plans et l'espace entre les électrodes excitées (112 et 114) et les surfaces mises à la terre (116, 120 et 122) est partout égal. Le circuit du transformateur d'attaque à différentiel applique le même courant RF à chaque électrode excitée créant ainsi un plasma uniforme entre les deux électrodes excitées et les surfaces mises à la terre.