| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VOORZIEN IN EEN GEDOSEERDE DAMPSTROOM ALSMEDE INRICHTING VOOR HET UITVOEREN DAARVAN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8900980(A) |
申请公布日期 |
1990.11.16 |
| 申请号 |
NL19890000980 |
申请日期 |
1989.04.19 |
| 申请人 |
ASM EUROPE B.V. TE BILTHOVEN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C16/20;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
