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发明名称 VERFAHREN ZUM VERMESSEN DER ISOLIERENDEN BEREICHE MIKROELEKTRONISCHER BAUELEMENTE MITTELS RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DD288002(A5) 申请公布日期 1991.03.14
申请号 DD19890332822 申请日期 1989.09.20
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 ERFURTH,WILFRIED,DE;FELLENBERG,RALF,DE;MEYER,KLAUS-PETER,DE
分类号 G01N23/00;G01R31/26;(IPC1-7):G01N23/00 主分类号 G01N23/00
代理机构 代理人
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