发明名称 ION MACHINING DEVICE FOR CUTTING WIRE
摘要
申请公布号 JPH06150870(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920326079 申请日期 1992.11.11
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HOSHINO AKIRA;TAKAGI KENICHI
分类号 B23K15/00;B24B19/18;C23F4/00;G01Q40/00;G01Q60/16;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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