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发明名称 EXPOSURE MASK AND THE MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR0146243(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19940015077 申请日期 1994.06.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD 发明人 MOON, SEUNG-CHAN;MIN, YOUNG-HONG
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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