发明名称 QUARTZ GLASS ARTICLE HAVING SAND BLAST-TREATED SURFACE AND METHOD FOR CLEANING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20020043217(A) 申请公布日期 2002.06.08
申请号 KR1020027003004 申请日期 2002.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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