发明名称 METHOD FOR GENERATING N TYPE LAYER IN P TYPE SILICON PLATE
摘要
申请公布号 PL364614(A1) 申请公布日期 2005.08.08
申请号 PL20040364614 申请日期 2004.01.28
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 JUNG WOJCIECH;MISIUK ANDRZEJ;ANTONOWA IRINA V.
分类号 H01L21/34 主分类号 H01L21/34
代理机构 代理人
主权项
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