臭氧处理方法及臭氧处理装置

摘要

本发明提供一种臭氧处理方法及臭氧处理装置，系在利用放电式臭氧产生器所生成的臭氧气体中混合水蒸气。利用冷却手段冷却混合流体，藉此，使臭氧气体所含有的金属及氮氧化物等杂质溶解至凝缩水中。然后，藉由气液分离器使臭氧气体与凝缩水分离。于臭氧气体中再度混合水蒸气。混合流体通过收容作为金属吸附材的多数片矽晶片之容器所构成的金属捕获构造，除去残存的金属。