| 摘要 |
【課題】小型化・薄型化のみならず高精度化も図れる磁気検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の磁気検出装置（１）は、基板（Ｓ１）と、基板に配設され、延在方向の外部磁場成分に感応する感磁ワイヤー（Ｗ１）と感磁ワイヤーを周回する検出コイル（Ｃ１）とを有するＭＩ素子と、感磁ワイヤーの周囲の外部磁場を変向する磁場変向体（Ｆ１）を備える。本発明に係る磁場変向体は、非磁性材からなる芯部（Ｆ１０）と、芯部の少なくとも一部の外側を覆う軟磁性材からなる殻部（Ｆ１１）とを有する。このように磁場変向体が軟磁性材の中実構造ではなく、中空構造となっているため、従来よりも軟磁性材のボリュームが大幅に低減され、磁場変向体に生じるヒステリシスも大幅に縮小される。このため本発明の磁気検出装置によれば、基板に直交する磁場成分もより高精度に検出される。【選択図】図２Ａ |
