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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5976869(U)	申请公布日期	1984.05.24
申请号	JP19820169421U	申请日期	1982.11.08
申请人		发明人
分类号	H01L41/113;F23Q3/00;H01L41/08;H02N2/00;(IPC1-7):F23Q3/00	主分类号	H01L41/113
代理机构		代理人
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