发明名称 ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物、及びその利用
摘要 The adhesive composition for bonding a wafer and a support for the wafer according to the present invention contains an elastomer in which a styrene unit is contained as a constituent unit of a main chain, a content of the styrene unit is 14% by weight to 50% by weight, and a weight average molecular weight is 10,000 to 200,000.
申请公布号 JP6034796(B2) 申请公布日期 2016.11.30
申请号 JP20130541674 申请日期 2012.09.20
申请人 東京応化工業株式会社 发明人 今井 洋文;緒方 寿幸;久保 安通史;吉岡 孝広
分类号 C09J153/02;C09J7/02;C09J11/06;H01L21/301;H01L21/304 主分类号 C09J153/02
代理机构 代理人
主权项
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