| 摘要 |
Le procédé de désorption de molécules de vapeur d'eau à partir des surfaces des parois intérieures d'une chambre à vide (10) consiste à irradier les surfaces des parois intérieures par un rayonnement ultraviolet. Pendant l'irradiation des surfaces de parois intérieures par le rayonnement ultraviolet, la chambre à vide est maintenue sous vide. La longueur d'onde du rayonnement ultraviolet est de préférence une combinaison des deux longueurs d'ondes de base: une première longueur d'onde de 183 nanomètres, et une seconde longueur d'onde de 254 nanomètres. La source de rayonnement ultraviolet est une lampe ultraviolette conventionnelle (12). La lampe (12) est connectée à une source de puissance extérieure. Après irradiation de la surface de la paroi intérieure de la chambre à vide (10) avec le rayonnement ultraviolet, les molécules d'eau désorbées sont dégagées par pompage à l'aide des pompes du système à vide. Toute longueur d'onde tombant dans la bande ultraviolette du spectre peut être utilisée pour irradier les surfaces des parois intérieures de la chambre à vide. |
