发明名称 VERFAHREN ZUM MECHANISCH-CHEMISCHEN POLIEREN VON SILICIUMSCHEIBEN.
摘要
申请公布号 DE3667504(D1) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 DE19863667504 申请日期 1986.05.15
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE 发明人 LAMPERT, INGOLF;JACOB, DR., HERBERT, D-8263 BURGHAUSEN, DE
分类号 C25D11/32;C30B29/06;C30B33/00;(IPC1-7):C25D11/32 主分类号 C25D11/32
代理机构 代理人
主权项
地址