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发明名称
VERFAHREN ZUM MECHANISCH-CHEMISCHEN POLIEREN VON SILICIUMSCHEIBEN.
摘要
申请公布号
DE3667504(D1)
申请公布日期
1990.01.18
申请号
DE19863667504
申请日期
1986.05.15
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE
发明人
LAMPERT, INGOLF;JACOB, DR., HERBERT, D-8263 BURGHAUSEN, DE
分类号
C25D11/32;C30B29/06;C30B33/00;(IPC1-7):C25D11/32
主分类号
C25D11/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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