| 摘要 |
본 발명은 사파이어 또는 실리콘 기판 위에 시드(seed) 질화물을 형성하고, 그 위에 유기나노와이어 패턴 및 이를 템플릿으로 한 유전체나노터널을 형성하고, 이를 유도성장 마스크로 이용하는 것으로, 시드(seed) 질화물로부터 질화물 무기나노와이어를 성장하는 유도성장을 이용한 나노선 어레이 제조방법에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명의 특징은 질화물 선택성장이 가능한 물질 중 어느 하나로써 기판을 포함한 베이스층 상에 노즐 프린팅 방법 등을 이용해 유기 나노선 어레이를 템플릿으로 형성하는 단계; 유기 나노선 어레이 상에 스텝 커버리지가 좋은 방법(PECVD, 스퍼터링 등)으로 유전체를 형성하는 단계; 유기 나노선을 제거하여 유전체 나노터널을 형성하는 단계; 유도성장을 위한 시드 결정을 형성하는 단계; 나노선 유도성장을 하는 단계; 유전체를 제거하는 단계를 제공하는 것을 특징으로 한다. |
